주식회사 에이치시티

Clean Room

클린룸 위탁관리

Clean room

다가오는 클린룸 성능평가,
전문적인 관리로 대비해야 합니다.

산업기술의 고집적화에 따라 생산에 직간접적으로 투입되는 인력, 환경, 설비 원부자재, Utility 등은
적합한 규격에 맞게 최적의 상태를 유지해야 합니다. 공기 중의 부유입자를 관리하고 제어함을
목적으로 하는 클린룸에 대한 자율적인 품질관리는 생산수율 향상 및 기술경쟁력을 강화하고,
대외적으로 품질에 대한 신뢰성도 보장됩니다. 한국공기청정협회가 주관하는 단체품질인증
‘클린룸성능평가’의 시행이 임박한 지금, 여러분의 클린룸 환경은 적정 관리가 되고 있습니까?

서비스 절차

성능 평가 Process

Step 1

접수

Clean Room 3자 업체 요청
생산 제품 성능 평가 요청
정기 Clean Room 평가 요청

Step 2

현장 확인

Clean Room 상세 위치 및 간략도
Clean Room 설계 조건
제품 및 평가 장소 확인

Step 3

성능 평가

파티클 / 온습도 / 차압
고객사 요청에 의한 항목 추가

Step 4

성적서 발급

적합 시 시험 성적서 작성 및 발행
환경 개선 Point 제안

서비스 항목

클린룸 솔루션 및 기술 역량

클린룸 환경 최적화

Room 환경 측정 및 순회 점검
Issue 관련 대응
이상 발생에 대한 현장 검증
3차원 기류 분석을 통한 근본 원인 파악

C/R 순회 검증

Online Monitoring

AMC Control

환경 검증

핵심 장비 성능 보장

장비 내부 FFU 및 환경 검증 (T.A.B)
장비 구동 시 환경 실시간 모니터링
Ionizer / 정전기 수준 정밀 평가

Mini Environment

Wafer 노출 환경 검증

ESD 입자 흡착 방지

P/Counter & S/Com

FMS

안정적인 FMS 시스템 구축 및 유지보수
측정 장비의 신뢰성 정기 평가
FMS Issue 발생 시 즉각적인 비상 대응

System 관리

실시간 분석

종합 환경 평가

P/Counter & S/Com

Ionizer 및 정전기 관리

ESDA 관점의 정전기 오염 제어
Ionizer 성능 정밀 평가 및 개선
정전기 제어(Control) 및 테스트

Ionizer 성능 평가

ESD 입자 흡착 방지

Room / 장비 환경 평가

미세 오염 평가 및 분석

안정적인 FMS 시스템 구축 및 유지보수
측정 장비의 신뢰성 정기 평가
FMS Issue 발생 시 즉각적인 비상 대응

System 관리

실시간 분석

종합 환경 평가

P/Counter & S/Com

상세 기술 서비스

클린룸 환경

Online Monitoring

실시간 분석 및 System 관리

T.A.B

종합 환경 평가

C/R 순회 검증

환경 검증

장비 내부 환경

Mini Environment

Wafer 노출 환경 검증
- P/Counter & S/Com

Ionizer 성능 평가

ESD 입자 흡착 방지
- Room / 장비

Utility Quality

DIW Quality

초순수 품질 검증
- 18M DIW Monitoring

Chemical Metal Trend

Metal 농도 평가
- DIW / H2O2 / NH4OH

ECCB

Workmanship Audit

변경점 Control 및 작업자, 공사 등의
Issue

환경 평가

변경점 Area 환경 오염 평가

기술 역량: 01
3차원 기류 분석 및 CFD 시뮬레이션

클린룸 내 공기 흐름이 정체되거나 와류가 생기는 지점을 정확히 파악하여 오염원의 확산을 방지하고, 최적의 공조 시스템 효율을 유지합니다.

3차원 기류 분석 장비
최첨단 3차원 초음파 풍속계로
현장의 기류를 정밀하게 실측합니다.

CFD 시뮬레이션
전산유체역학(CFD) 시뮬레이션을 통해
장비 배치 변경이나 신규 공사 시 발생할 수 있는
기류 변화를 사전에 예측하고 대비합니다

02
Particle 및 공기 오염 성분 분석

오염도를 측정하는 것을 넘어, 발생한 오염 물질의 성분을 정밀 분석하여 오염원의 출처를 추적하고 근본적인 해결책을 제시합니다.